Заведующий лабораторией


Худолей Андрей Леонидович
кандидат технических наук, доцент

Тел: +375 17 284-12-35
E-mail: 

Основные направления деятельности

  • Проведение научно-исследовательских работ в области процессов формообразования поверхностей путем реализации эффекта массопереноса − унос материала с обработанной поверхности, характеризующийся энергией переноса. 
  • Изучение процессов наноизнашивания. Исследование трибологических и механохимических взаимодействий. 
  • Поиск, анализ, разработка, изготовление, испытание и внедрение техники и технологий для высокоточной обработки поверхностей деталей оптической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. 
  • Разработка эффективных конструктивных схем и изготовление оборудования, модулей и сопутствующей оснастки для обработки плоских, выпуклых и вогнутых деталей, включая крупногабаритные изделия и компоненты. 
  • Поиск и разработка составов реологических жидкостей для полирования твердых, сверхтвердых, химически нестойких, водорастворимых, наноструктурированных материалов, включая тонкие пленки и покрытия. 
  • Создание алгоритмов и средств управления, разработка специального программного обеспечения для реализации процессов формообразования, включая подготовку и использование реологических жидкостей. 
  • Проведение контактного и бесконтактного комплексного контроля состояния поверхностей до и после обработки изделий. Использование результатов контроля для определения технологических параметров формообразования и полирования

Экспериментальная база

  • Лабораторная установка для полирования
  • Комплекс для формообразования и полирования изделий размером до 420 мм
  • 2-х и 3-х координатные модули для обработки изделий до 2,5 метров
  • Интерферометр ИКД-110 3D
  • Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800

Разработки

Технологии и оборудование для высокоточного формообразования и финишного магнитореологического полирования плоских, сферических и асферических поверхностей прецизионных деталей: 

  • Технологии формообразования и полирования
  • Специальные установки для формообразования и полирования
  • Модули, расширяющие технологические способности оборудования
  • Полировальные составы для финишной обработки поверхностей
  • Программное обеспечение
  • Комплексная диагностика состояния поверхности

Примеры использования предлагаемых разработок

  • Формирование асферической поверхности оптического изделия, имеющего первоначальную сферическую  форму
  • Автоматизированная обработка локальных участков поверхности со снятием различного припуска (режим "ретушь")
  • Снятие тончайшего дефектного слоя, образовавшегося при выполнении предшествующих операций, для повышения лучевой прочности оптических элементов лазерных систем (включая изделия из водорастворимых кристаллов) 
  • Финишная обработка поверхностей длинномерных труб, калибров, сложных сочленений, прецизионных направляющих,  выполненных из  немагнитных металлических сплавов
  • Планаризация поверхностей интегральных схем, имеющих сложное морфологическое и топологическое строение, для изготовления компонентов 3D электроники 
  • Полирование крупногабаритной оптики, зеркал и сегментов зеркал, изготовленных из церодура, ситалла и карбида кремния
Достоинства 
  • Габаритные размеры обрабатываемых изделий от 3 мм до 2,5 метров, среднеквадратичная точность формы до λ/100;  среднеквадратичная шероховатость поверхности Rq = 0,2-2,5 нм
  • Полная автоматизация технологии обработки позволяет достичь высокого уровня воспроизводимости результатов как для отдельных участков единичного изделия, так и серии деталей 

Разработки

Вернуться к списку